WF6 əsasən elektronika sənayesində metal volframın kimyəvi buxar çökdürülməsi (CVD) prosesi üçün xammal kimi istifadə olunur. WF6-dan hazırlanmış WSi2 iri miqyaslı inteqral sxemlərdə (LSI) naqil materialı kimi istifadə oluna bilər, həmçinin yarımkeçirici elektrodlar üçün xammal, flüor kimyəvi maddələr üçün xammal, polimerləşmə katalizatorları, optik materiallar və s. üçün xammal kimi istifadə edilə bilər.